新闻资讯

新闻资讯

当前位置: 首页 > 新闻资讯

新闻资讯article

联系我们Contact Us

天津市津航净化空调工程公司

电 话:022-29411184

手 机:022-29411184

邮 箱:jinhang@jinhang.net

地 址:天津市武清区南蔡村镇南蔡村

洁净室中的温湿度控制

2022-07-03
1783次

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳湿度范围为35—45%。

标签

上一篇:没有了
下一篇:气压规定

相关新闻

天津市津航净化空调工程公司成立于1990年7月21日,是以依据国家及国际标准承接新建、改建、扩建等各类人工环境工程的公司,具有近三十年的设计、制造、安装、调试等一条龙服务经验的公司。公司拥有数千万元的资产、两千多平米的办公楼、六千平米的加工厂房和各种先进的数控加工设备,拥有数名专家级高级工程师及专业化施工管理团队为所承接的项目服务。多年来给众多领域提供了优质服务。我们视信誉为企业的生命,精研、创拓、诚信、严质、是给我们的口号。

联系方式

联系人:樊经理

手机:022-29411184

电话:022-29411184

地址:天津市武清区南蔡村镇南蔡村